将陶瓷靶应用于磁控溅射镀膜玻璃的生产工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110170654.5

申请日：

2011-06-23

公开(公告)号：

CN102351428A

公开(公告)日：

2012-02-15

发明(设计)人：

王进东

申请人：

申请人地址：

210036 江苏省南京洪泽经济开发区328省道东侧

IPC主分类号：

C03C1722

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101212133953 IPC(主分类):C03C 17/22 专利申请号:2011101706545 申请日:20110623
2012-02-15	公开	公开
2014-04-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700042309 IPC(主分类):C03C 17/22 专利申请号:2011101706545 申请公布日:20120215

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜玻璃及其制备工艺 [P].

张金鹏 ;

沈晓晨 ;

王家亮 ;

张山山 ;

周慕蓉 .

中国专利 :CN119735383A ,2025-04-01

[2]

磁控溅射镀膜玻璃及其制备工艺 [P].

张金鹏 ;

沈晓晨 ;

王家亮 ;

张山山 ;

周慕蓉 .

中国专利 :CN119735383B ,2025-07-08

[3]

一种磁控溅射镀膜的生产工艺 [P].

樊静波 .

中国专利 :CN109898065A ,2019-06-18

[4]

磁控溅射镀膜生产系统及其生产工艺 [P].

许生 ;

张忠义 ;

梁锐生 .

中国专利 :CN102517553B ,2012-06-27

[5]

用于磁控溅射镀膜的组合式陶瓷靶材 [P].

张庆丰 ;

庄春泉 ;

周冬 ;

汪涛 ;

郭强 ;

董德庆 ;

胡尚智 .

中国专利 :CN202755055U ,2013-02-27

[6]

一种磁控溅射镀膜玻璃机的旋转靶 [P].

江维 .

中国专利 :CN204982042U ,2016-01-20

[7]

一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺 [P].

臧晓良 ;

李险峰 ;

罗雨潇 ;

刘宇 ;

张山山 ;

邱宏 .

中国专利 :CN106116176A ,2016-11-16

[8]

应用于磁控溅射镀膜中的膜厚修正工艺及系统 [P].

施玉安 ;

何光俊 .

中国专利 :CN101289738A ,2008-10-22

[9]

多层镀膜玻璃生产工艺 [P].

王安焱 .

中国专利 :CN110818280A ,2020-02-21

[10]

磁控溅射镀膜用的靶材组成及磁控溅射镀膜装置 [P].

李长春 ;

蒙峻 ;

焦纪强 ;

罗成 ;

魏宁斐 ;

刘建龙 ;

姚鹏 .

中国专利 :CN121065643A ,2025-12-05

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