一种磁控溅射镀膜的生产工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910310994.X

申请日：

2019-04-18

公开(公告)号：

CN109898065A

公开(公告)日：

2019-06-18

发明(设计)人：

樊静波

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市厚街镇汀山村坑口工业区

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1402

代理机构：

东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429

代理人：

齐海迪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-18	公开	公开
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20190618
2019-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190418

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜生产系统及其生产工艺 [P].

许生 ;

张忠义 ;

梁锐生 .

中国专利 :CN102517553B ,2012-06-27

[2]

一种磁控溅射镀膜工艺 [P].

尹联民 ;

佘鹏程 ;

黄也 ;

王建青 ;

石任凭 .

中国专利 :CN117026182B ,2025-09-30

[3]

将陶瓷靶应用于磁控溅射镀膜玻璃的生产工艺 [P].

王进东 .

中国专利 :CN102351428A ,2012-02-15

[4]

一种手机PC板磁控溅射镀膜生产线及其生产工艺 [P].

张少波 ;

陈诚 ;

王进 ;

张伟健 .

中国专利 :CN109112498A ,2019-01-01

[5]

磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线 [P].

陈道逵 ;

汪振南 ;

杨永雷 .

中国专利 :CN209798089U ,2019-12-17

[6]

一种珊瑚色磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产工艺 [P].

臧晓良 ;

李险峰 ;

罗雨潇 ;

刘宇 ;

张山山 ;

邱宏 .

中国专利 :CN106116176A ,2016-11-16

[7]

一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P].

刘海东 ;

杨雨 .

中国专利 :CN120888885B ,2025-11-28

[8]

一种基片磁控溅射镀膜生产设备 [P].

刘海东 ;

杨雨 .

中国专利 :CN120888885A ,2025-11-04

[9]

一种磁控溅射镀膜工艺气体供气装置 [P].

唐迎春 ;

丁平伍 ;

李琴 ;

江小军 ;

旷小奇 .

中国专利 :CN221028645U ,2024-05-28

[10]

一种磁控溅射镀膜工装 [P].

尹善攀 ;

章槐军 ;

潘道良 ;

庄致远 ;

林法盼 .

中国专利 :CN115948717B ,2025-10-28

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