一种生长在金属Al衬底上的AlN薄膜及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410240802.X
申请日
2014-05-30
公开(公告)号
CN103996612B
公开(公告)日
2014-08-20
发明(设计)人
李国强
申请人
申请人地址
510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城南翔一路62号厂房
IPC主分类号
H01L21205
IPC分类号
H01L3300 H01L3302 H01L3118 H01L310248
代理机构
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人
汤喜友
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种生长在金属Al衬底上的GaN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996611A ,2014-08-20
[2]
一种生长在金属Al衬底上的GaN薄膜 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN204130574U ,2015-01-28
[3]
一种生长在金属Al衬底上的AlN薄膜 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN204189815U ,2015-03-04
[4]
生长在金属Ag衬底上的AlN薄膜及其制备方法、应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN102945898B ,2013-02-27
[5]
一种生长在金属铝衬底上的AlN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996610A ,2014-08-20
[6]
一种生长在Si衬底上的AlN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103022295A ,2013-04-03
[7]
生长在Cu衬底的AlN薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996615A ,2014-08-20
[8]
一种生长在金属铝衬底上的AlN薄膜 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN204257684U ,2015-04-08
[9]
一种生长在金属Al衬底上的LED外延片及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996763B ,2014-08-20
[10]
生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
李国强 .
中国专利 :CN103996607B ,2014-08-20