样品台、微观观察装置和样品台调整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610954464.5

申请日：

2016-11-03

公开(公告)号：

CN108020252A

公开(公告)日：

2018-05-11

发明(设计)人：

申亚京陆豪健

申请人：

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴一道8号

IPC主分类号：

G01D1100

IPC分类号：

G01Q3020 G01N2101

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

朱坤鹏;王春光

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-11	公开	公开
2020-03-06	授权	授权
2018-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 11/00 申请日:20161103

共 50 条

[1]

格哈杜斯·伯纳德瑞斯·斯塔姆斯尼德 ;

保罗·科内利斯·玛丽亚·万登伯斯 ;

托恩·安东尼厄斯·科内利斯·亨利库斯·克鲁伊特曼斯 ;

桑德尔·理查德·玛丽·斯多克斯 ;

阿德里安努斯·弗朗西斯库斯·约翰内斯·哈姆曼 ;

卡雷尔·迪德里克·万登马斯特 .

中国专利 :CN107430973A ,2017-12-01

[2]

观察硅片样品断面的样品台 [P].

裘莺 .

中国专利 :CN201122096Y ,2008-09-24

[3]

一种高频疲劳测试装置和微观形貌观察装置 [P].

申亚京 ;

张立军 .

中国专利 :CN105738229A ,2016-07-06

[4]

用于自由调节样品观察角度的样品台和样品显微镜 [P].

李东飞 .

中国专利 :CN202661704U ,2013-01-09

[5]

虞勤琴 ;

李明 ;

齐瑞娟 ;

杨卫明 .

中国专利 :CN201532929U ,2010-07-21

[6]

样品台和样品传递设备 [P].

张雷 .

中国专利 :CN118292116A ,2024-07-05

[7]

扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台 [P].

裘莺 .

中国专利 :CN101441970A ,2009-05-27

[8]

朱汝楷 .

中国专利 :CN308521118S ,2024-03-19

[9]

罗峻 ;

钟钜全 ;

杨欣卉 ;

谢剑飞 ;

胡剑灿 ;

李春燕 .

中国专利 :CN105628723A ,2016-06-01

[10]

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

石磊 .

中国专利 :CN107643307A ,2018-01-30

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