样品台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920212175.3

申请日：

2009-11-10

公开(公告)号：

CN201532929U

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

虞勤琴李明齐瑞娟杨卫明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01J4902

IPC分类号：

G01N23227

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 49/02 申请日:20091110 授权公告日:20100721 终止日期:20181110
2013-02-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101516393300 IPC(主分类):H01J 49/02 专利号:ZL2009202121753 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130116
2010-07-21	授权	授权

共 50 条

[1]

罗峻 ;

钟钜全 ;

杨欣卉 ;

谢剑飞 ;

胡剑灿 ;

李春燕 .

中国专利 :CN205352973U ,2016-06-29

[2]

陈强 ;

黄勤 ;

白莉莉 ;

秦天 ;

关业群 .

中国专利 :CN201060150Y ,2008-05-14

[3]

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

陈光海 ;

石磊 .

中国专利 :CN207541000U ,2018-06-26

[4]

徐聪 ;

唐佳 ;

卢胜强 ;

苏文毅 .

中国专利 :CN209606060U ,2019-11-08

[5]

一种样品台 [P].

邹余耀 ;

郭鹏飞 .

中国专利 :CN212364142U ,2021-01-15

[6]

可调节角度的样品台 [P].

康举 ;

吴勇 ;

王智春 ;

赵卫东 ;

王建国 ;

韩哲文 ;

杨鑫莹 ;

宋子博 .

中国专利 :CN207502092U ,2018-06-15

[7]

扫描电镜EBSD样品台 [P].

汪炳叔 ;

张鼎 ;

杨容 ;

吴诗萍 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN206460075U ,2017-09-01

[8]

一种EBSD样品台 [P].

汪炳叔 ;

王菊荣 ;

刘慧敏 ;

杨容 ;

张鼎 .

中国专利 :CN206862927U ,2018-01-09

[9]

样品台、微观观察装置和样品台调整方法 [P].

申亚京 ;

陆豪健 .

中国专利 :CN108020252A ,2018-05-11

[10]

观察硅片样品断面的样品台 [P].

裘莺 .

中国专利 :CN201122096Y ,2008-09-24

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