晶片旋转驱动装置及驱动晶片旋转的方法

被引：0

申请号：

CN202011184976.0

申请日：

2020-10-29

公开(公告)号：

CN114429920A

公开(公告)日：

2022-05-03

发明(设计)人：

姜喆求胡艳鹏李琳

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

赵永刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201029
2022-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

旋转驱动装置及旋转驱动系统 [P].

张孝平 ;

文青松 ;

何睿 ;

李青松 .

中国专利 :CN218243239U ,2023-01-06

[2]

旋转电机的驱动装置及旋转电机的驱动方法 [P].

西村立男 .

日本专利 :CN117674668A ,2024-03-08

[3]

旋转驱动装置以及旋转驱动方法 [P].

佐藤秀明 .

中国专利 :CN100358229C ,2005-10-12

[4]

晶片定位方法和装置,晶片加工系统及晶片定位装置的晶片座旋转轴定位方法 [P].

福崎义树 ;

新宅朝之 .

中国专利 :CN1613145A ,2005-05-04

[5]

旋转驱动装置的制造方法以及旋转驱动装置 [P].

益田久光男 ;

田端真 ;

二冈泰治 .

中国专利 :CN1892862B ,2007-01-10

[6]

旋转驱动装置和旋转驱动装置的制造方法 [P].

水上顺也 .

中国专利 :CN108363199A ,2018-08-03

[7]

用于驱动旋转杆的旋转驱动装置 [P].

希沙姆·陶菲克 .

中国专利 :CN113383483A ,2021-09-10

[8]

旋转驱动装置及采用该旋转驱动装置的相机 [P].

真锅充雄 ;

津行和宏 .

中国专利 :CN1673847A ,2005-09-28

[9]

旋转驱动装置及旋转驱动装置系统误差的校正方法 [P].

陈庆盈 ;

杨桂林 ;

王冲冲 ;

张驰 ;

王慰军 .

中国专利 :CN113760012B ,2021-12-07

[10]

旋转驱动装置 [P].

坪根太平 ;

羽泉乔平 ;

矢田渉 ;

坂本友和 ;

越前谷刚 ;

加藤诚司 .

中国专利 :CN113459723A ,2021-10-01

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