晶圆背面清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022807121.0

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN214099590U

公开(公告)日：

2021-08-31

发明(设计)人：

许忠晖王东铭陈嘉勇杨昱霖

申请人：

申请人地址：

250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李宁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆背面清洗装置 [P].

郝静安 ;

舒强 ;

邢滨 .

中国专利 :CN203774251U ,2014-08-13

[2]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203967038U ,2014-11-26

[3]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203721680U ,2014-07-16

[4]

晶圆背面清洗装置 [P].

王磊 .

中国专利 :CN202224393U ,2012-05-23

[5]

晶圆背面清洗装置 [P].

孙德富 ;

徐择君 ;

赖锦平 ;

刘纵曙 .

中国专利 :CN222581107U ,2025-03-07

[6]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

李林 ;

吴宣 .

中国专利 :CN218471901U ,2023-02-10

[7]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[8]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

张飘 ;

范小军 ;

张峰 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN222999217U ,2025-06-20

[9]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

周贤炳 .

中国专利 :CN223390531U ,2025-09-26

[10]

晶圆背面清洗装置及清洗方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103506339A ,2014-01-15

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