一种晶圆背面清洗装置

被引：0

申请号：

CN202222665680.1

申请日：

2022-10-10

公开(公告)号：

CN218471901U

公开(公告)日：

2023-02-10

发明(设计)人：

李林吴宣

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

张亚静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆背面清洗装置 [P].

许忠晖 ;

王东铭 ;

陈嘉勇 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN214099590U ,2021-08-31

[2]

晶圆背面清洗装置 [P].

郝静安 ;

舒强 ;

邢滨 .

中国专利 :CN203774251U ,2014-08-13

[3]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203967038U ,2014-11-26

[4]

晶圆背面清洗装置 [P].

孔德平 ;

胡华勇 .

中国专利 :CN203721680U ,2014-07-16

[5]

晶圆背面清洗装置 [P].

王磊 .

中国专利 :CN202224393U ,2012-05-23

[6]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

张飘 ;

范小军 ;

张峰 ;

盛湘远 .

中国专利 :CN222999217U ,2025-06-20

[7]

一种晶圆背面清洗装置 [P].

周贤炳 .

中国专利 :CN223390531U ,2025-09-26

[8]

一种晶圆背面滚轮清洗装置 [P].

周鹏程 .

中国专利 :CN220829934U ,2024-04-23

[9]

晶圆背面清洗装置 [P].

孙德富 ;

徐择君 ;

赖锦平 ;

刘纵曙 .

中国专利 :CN222581107U ,2025-03-07

[10]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

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