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一种晶圆背面滚轮清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322625025.8
申请日：
2023-09-27
公开(公告)号：
CN220829934U
公开(公告)日：
2024-04-23
发明(设计)人：
周鹏程
申请人：
争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
B08B1/20
B08B1/10
B08B1/34
代理机构：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345
代理人：
柏玉霞
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-23 | 授权 | 授权 |