光刻用冲洗液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580012690.1

申请日：

2005-04-20

公开(公告)号：

CN1947067A

公开(公告)日：

2007-04-11

发明(设计)人：

越山淳胁屋和正金子文武宫本敦史泽田佳宏田岛秀和

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张平元;赵仁临

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101612553861 IPC(主分类):G03F 7/32 专利号:ZL2005800126901 申请日:20050420 授权公告日:20120530 终止日期:20140420
2007-04-11	公开	公开
2012-05-30	授权	授权
2007-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

光刻用冲洗液 [P].

越山淳 ;

胁屋和正 ;

金子文武 ;

宫本敦史 ;

泽田佳宏 ;

田岛秀和 .

中国专利 :CN102591160B ,2012-07-18

[2]

光刻用冲洗液 [P].

越山淳 ;

胁屋和正 ;

金子文武 ;

宫本敦史 ;

田岛秀和 ;

泽田佳宏 .

中国专利 :CN1947066B ,2007-04-11

[3]

光蚀刻用冲洗液和抗蚀图案形成方法 [P].

泽田佳宏 ;

胁屋和正 ;

越山淳 ;

宫本敦史 ;

田岛秀和 .

中国专利 :CN101010639A ,2007-08-01

[4]

用于光刻冲洗液的含氟组合物、光刻冲洗液和形成光刻胶图案的光刻方法 [P].

李永斌 .

中国专利 :CN115322839A ,2022-11-11

[5]

冲洗液用梅花盖 [P].

李伟 ;

崔友 ;

国云峰 .

中国专利 :CN202967027U ,2013-06-05

[6]

R·哈恩 .

中国专利 :CN1499964A ,2004-05-26

[7]

冲洗液及其制备方法、深水固井用冲洗液 [P].

谢飞燕 ;

邹建龙 ;

涂思琦 ;

曾建国 ;

张其滨 ;

宋有胜 ;

辛海鹏 ;

邹双 ;

敖康伟 ;

杨昆鹏 .

中国专利 :CN110343513A ,2019-10-18

[8]

病床用冲洗液支架 [P].

李亚谋 .

中国专利 :CN218356613U ,2023-01-24

[9]

一种眼用冲洗液配方、冲洗液喷雾结构及冲洗液制备工艺 [P].

龙雨 .

中国专利 :CN117899015A ,2024-04-19

[10]

冲洗液袋用加压器 [P].

何涛 ;

章新江 .

中国专利 :CN214049966U ,2021-08-27

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