用于光刻冲洗液的含氟组合物、光刻冲洗液和形成光刻胶图案的光刻方法

被引：0

申请号：

CN202211016307.1

申请日：

2022-08-24

公开(公告)号：

CN115322839A

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

李永斌

申请人：

申请人地址：

730900 甘肃省白银市白银区兰包路333号（08）5幢1-01（孵化器基地）科研一号楼306室

IPC主分类号：

C11D106

IPC分类号：

C11D330 G03F742 G03F700 C07C59135

代理机构：

北京中秩新创知识产权代理有限公司 16124

代理人：

褚战星

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C11D 1/06 申请日:20220824
2022-11-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种防倒塌的光刻胶冲洗液和形成光刻胶图案的光刻方法 [P].

马晓明 ;

陈玉 ;

杨槐 ;

童颖佳 ;

李文武 ;

高清 .

中国专利 :CN120122400A ,2025-06-10

[2]

一种防倒塌的光刻胶冲洗液和形成光刻胶图案的光刻方法 [P].

马晓明 ;

陈玉 ;

杨槐 ;

童颖佳 ;

李文武 ;

高清 .

中国专利 :CN120122400B ,2025-07-18

[3]

一种防倒塌的光刻胶冲洗液和形成光刻胶图案的光刻方法 [P].

马晓明 ;

杨槐 ;

陈玉 ;

高清 .

中国专利 :CN121028475A ,2025-11-28

[4]

光刻胶组合物和形成光刻图案的方法 [P].

Y·C·裴 ;

T·卡多拉西亚 ;

孙纪斌 ;

D·J·阿里奥拉 ;

K·A·弗雷泽 .

中国专利 :CN102445848A ,2012-05-09

[5]

光刻胶组合物和形成光刻图案的方法 [P].

朴钟根 ;

C·N·李 ;

C·安德斯 ;

D·王 .

中国专利 :CN103576458A ,2014-02-12

[6]

光刻用冲洗液 [P].

越山淳 ;

胁屋和正 ;

金子文武 ;

宫本敦史 ;

泽田佳宏 ;

田岛秀和 .

中国专利 :CN1947067A ,2007-04-11

[7]

光刻用冲洗液 [P].

越山淳 ;

胁屋和正 ;

金子文武 ;

宫本敦史 ;

泽田佳宏 ;

田岛秀和 .

中国专利 :CN102591160B ,2012-07-18

[8]

光刻用冲洗液 [P].

越山淳 ;

胁屋和正 ;

金子文武 ;

宫本敦史 ;

田岛秀和 ;

泽田佳宏 .

中国专利 :CN1947066B ,2007-04-11

[9]

负性光刻胶组合物和形成光刻胶图案的方法 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN112731764A ,2021-04-30

[10]

光刻设备和用于形成光刻胶图案的方法 [P].

柳龙焕 ;

朴商鎭 ;

李沙罗 ;

朱成培 .

中国专利 :CN115639725A ,2023-01-24

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