制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410242295.3
申请日
2014-06-03
公开(公告)号
CN104004990B
公开(公告)日
2014-08-27
发明(设计)人
王咸海 洪瑞金 脱文刚 张大伟 陶春先
申请人
申请人地址
200093 上海市杨浦区军工路516号
IPC主分类号
C23C1408
IPC分类号
C23C1435
代理机构
上海德昭知识产权代理有限公司 31204
代理人
郁旦蓉
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 [P]. 
洪瑞金 ;
张大伟 ;
王琦 ;
陶春先 ;
黄元申 ;
盛斌 .
中国专利 :CN103343327A ,2013-10-09
[2]
一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 [P]. 
洪瑞金 ;
倪争技 ;
王忠坦 ;
周瑶 ;
盛斌 ;
黄元申 .
中国专利 :CN103147061B ,2013-06-12
[3]
氧化锌薄膜制备方法 [P]. 
何刚 ;
吴紫阳 ;
蔡金华 .
中国专利 :CN101125676A ,2008-02-20
[4]
铪掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
胡习光 ;
秦国强 ;
常金永 ;
张志祥 .
中国专利 :CN104060232A ,2014-09-24
[5]
掺杂氧化锌透明薄膜及其制备方法 [P]. 
谈一波 ;
吴雪飞 ;
黄琦凯 .
中国专利 :CN103305792A ,2013-09-18
[6]
铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法 [P]. 
姜来新 ;
牟海川 ;
毛启明 ;
宋佳 .
中国专利 :CN102021535A ,2011-04-20
[7]
一种氧化锌薄膜的制备方法 [P]. 
王秀峰 ;
方俊 .
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[8]
制备氧化锌薄膜的方法 [P]. 
尹根尚 ;
金序炫 ;
李铉熙 ;
刘泳祚 .
中国专利 :CN103849854A ,2014-06-11
[9]
用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P]. 
赵东旭 ;
曹萍 ;
吕有明 ;
申德振 ;
李炳辉 .
中国专利 :CN101225549A ,2008-07-23
[10]
一种化学浴沉积制备氧化锌透明导电薄膜的方法 [P]. 
杨培志 ;
化麒麟 ;
张成 ;
孙培培 ;
自兴发 .
中国专利 :CN102605354A ,2012-07-25