压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110093622.3

申请日：

2021-01-22

公开(公告)号：

CN112880884A

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

周志健余伦宙熊娟赵怿

申请人：

申请人地址：

200000 上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼

IPC主分类号：

G01L118

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

周雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/18 申请日:20210122
2021-06-01	公开	公开

共 50 条

[1]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

余伦宙 ;

熊娟 ;

赵怿 .

中国专利 :CN112880884B ,2025-05-02

[2]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

刘洪喜 ;

熊娟 .

中国专利 :CN112880883A ,2021-06-01

[3]

压力传感器及其制造方法 [P].

周志健 ;

刘洪喜 ;

熊娟 .

中国专利 :CN112880883B ,2025-03-14

[4]

压力传感器 [P].

周志健 ;

余伦宙 ;

熊娟 ;

赵怿 .

中国专利 :CN214702570U ,2021-11-12

[5]

压力传感器 [P].

周志健 ;

刘洪喜 ;

熊娟 .

中国专利 :CN214702569U ,2021-11-12

[6]

MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN105181217A ,2015-12-23

[7]

MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

闫文明 .

中国专利 :CN113432777A ,2021-09-24

[8]

压力传感器的制备方法及压力传感器 [P].

王曦 .

中国专利 :CN120831197A ,2025-10-24

[9]

压力传感器及其制造方法 [P].

德田智久 ;

东条博史 .

中国专利 :CN101876575A ,2010-11-03

[10]

压力传感器及其制造方法 [P].

德田智久 ;

东條博史 .

中国专利 :CN101960276B ,2011-01-26

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