板状对象物的排列检测装置和装载端口

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110434692.0

申请日：

2021-04-22

公开(公告)号：

CN113555297A

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

阿部知史岩本忠将工藤拓哉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L2168

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦;徐飞跃

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	公开	公开
2021-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210422

共 50 条

[1]

板状对象物的排列检测装置和装载端口 [P].

阿部知史 ;

岩本忠将 ;

工藤拓哉 .

日本专利 :CN113555297B ,2024-03-19

[2]

对象物检测装置 [P].

日比野雅人 ;

横田求 .

中国专利 :CN111158003A ,2020-05-15

[3]

对象物检测装置 [P].

安藤惠都 ;

宫崎秀德 ;

一柳星文 ;

藤原直树 ;

山本和夫 .

中国专利 :CN110174678A ,2019-08-27

[4]

对象物检测装置 [P].

安藤惠都 ;

宫崎秀德 ;

一柳星文 ;

藤原直树 ;

山本和夫 .

日本专利 :CN110174678B ,2024-10-01

[5]

对象物检测装置 [P].

大谷直辉 ;

一柳星文 .

中国专利 :CN110118972A ,2019-08-13

[6]

装载端口和装载端口中的映射处理方法 [P].

三浦辰弥 .

中国专利 :CN109755166A ,2019-05-14

[7]

装载端口和装载端口中的映射处理方法 [P].

三浦辰弥 .

日本专利 :CN109755166B ,2024-04-19

[8]

对象物检测装置、对象物检测方法以及记录介质 [P].

山谷崇史 ;

中込浩一 ;

岛田敬辅 .

中国专利 :CN108664889A ,2018-10-16

[9]

纸状对象物的检测装置和利用该检测装置的识别装置 [P].

富士本淳 ;

吉冈一荣 .

中国专利 :CN1311395C ,2004-12-01

[10]

目标对象物检测装置 [P].

横田求 ;

驹谷政男 ;

一柳星文 .

中国专利 :CN110118975A ,2019-08-13

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