装载端口和装载端口中的映射处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811313166.3

申请日：

2018-11-06

公开(公告)号：

CN109755166A

公开(公告)日：

2019-05-14

发明(设计)人：

三浦辰弥

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-14	公开	公开
2020-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20181106

共 50 条

[1]

装载端口和装载端口中的映射处理方法 [P].

三浦辰弥 .

日本专利 :CN109755166B ,2024-04-19

[2]

映射装置及装载端口装置 [P].

小番达裕 ;

菅原城 ;

阿部知史 .

日本专利 :CN119480689A ,2025-02-18

[3]

装载端口以及EFEM [P].

铃木淳志 ;

三浦辰弥 ;

谷山育志 .

中国专利 :CN110349893A ,2019-10-18

[4]

装载端口及其操作方法 [P].

徐伊芃 ;

许庭耀 ;

吴政隆 ;

朱延安 ;

白峻荣 .

中国专利 :CN114758972A ,2022-07-15

[5]

板状对象物的排列检测装置和装载端口 [P].

阿部知史 ;

岩本忠将 ;

工藤拓哉 .

中国专利 :CN113555297A ,2021-10-26

[6]

板状对象物的排列检测装置和装载端口 [P].

阿部知史 ;

岩本忠将 ;

工藤拓哉 .

日本专利 :CN113555297B ,2024-03-19

[7]

一种半导体物料装载端口 [P].

龚昱 ;

朱飞 .

中国专利 :CN222168352U ,2024-12-13

[8]

多半导体裸片容器装载端口 [P].

黄志宏 ;

吴政隆 ;

徐伊芃 ;

陈与辰 ;

朱延安 ;

白峻荣 .

中国专利 :CN113611643A ,2021-11-05

[9]

输送机和半导体加工设备装载端口间的接口 [P].

A·C·博诺拉 ;

M·克鲁拉克 ;

R·G·海因 .

中国专利 :CN101203952A ,2008-06-18

[10]

容量减少的载物台,传送,装载端口,缓冲系统 [P].

M·L·巴法诺 ;

U·吉尔克里斯特 ;

W·富斯奈特 ;

C·霍夫梅斯特 ;

D·巴布斯 ;

R·C·梅 .

中国专利 :CN101578700B ,2009-11-11

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