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映射装置及装载端口装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411082926.X
申请日：
2024-08-08
公开(公告)号：
CN119480689A
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
小番达裕
菅原城
阿部知史
申请人：
TDK株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240808 |
| 2025-02-18 | 公开 | 公开 |