装载端口

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480020732.9

申请日：

2024-03-19

公开(公告)号：

CN121002639A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

小川建石原裕挥小木曾真平

申请人：

昕芙旎雅有限公司

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

曾贤伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

装载端口 [P].

森鼻俊光 ;

大泽真弘 ;

松本祐贵 .

中国专利 :CN108292621A ,2018-07-17

[2]

装载端口 [P].

加加见欣也 ;

松田清二 .

中国专利 :CN111755370A ,2020-10-09

[3]

映射装置及装载端口装置 [P].

小番达裕 ;

菅原城 ;

阿部知史 .

日本专利 :CN119480689A ,2025-02-18

[4]

载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口 [P].

森鼻俊光 ;

松本祐贵 .

中国专利 :CN108292622A ,2018-07-17

[5]

多半导体裸片容器装载端口 [P].

黄志宏 ;

吴政隆 ;

徐伊芃 ;

陈与辰 ;

朱延安 ;

白峻荣 .

中国专利 :CN113611643A ,2021-11-05

[6]

衬底处理系统、装载端口和方法 [P].

李闯 ;

朱宏华 .

中国专利 :CN114613694A ,2022-06-10

[7]

基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法 [P].

伊藤泉 ;

水谷友哉 .

中国专利 :CN110534455A ,2019-12-03

[8]

一种晶圆盒装载端口的控制系统及检测方法 [P].

丁金龙 ;

陈杰 ;

赵佳强 ;

毛焕 ;

吕维迪 ;

周亮 ;

杨子臣 ;

廖博轩 .

中国专利 :CN120020663A ,2025-05-20

[9]

装载装置 [P].

傅荣颢 ;

黄锦才 .

中国专利 :CN102903660B ,2013-01-30

[10]

岩本忠将 ;

工藤拓哉 .

中国专利 :CN111584390A ,2020-08-25

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