装载端口

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010226904.1

申请日：

2020-03-27

公开(公告)号：

CN111755370A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

加加见欣也松田清二

申请人：

申请人地址：

日本熊本县

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

顾玉莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20200327
2020-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

装载端口 [P].

小川建 ;

石原裕挥 ;

小木曾真平 .

日本专利 :CN121002639A ,2025-11-21

[2]

装载端口 [P].

森鼻俊光 ;

大泽真弘 ;

松本祐贵 .

中国专利 :CN108292621A ,2018-07-17

[3]

映射装置及装载端口装置 [P].

小番达裕 ;

菅原城 ;

阿部知史 .

日本专利 :CN119480689A ,2025-02-18

[4]

载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口 [P].

森鼻俊光 ;

松本祐贵 .

中国专利 :CN108292622A ,2018-07-17

[5]

多半导体裸片容器装载端口 [P].

黄志宏 ;

吴政隆 ;

徐伊芃 ;

陈与辰 ;

朱延安 ;

白峻荣 .

中国专利 :CN113611643A ,2021-11-05

[6]

衬底处理系统、装载端口和方法 [P].

李闯 ;

朱宏华 .

中国专利 :CN114613694A ,2022-06-10

[7]

容量减少的载物台,传送,装载端口,缓冲系统 [P].

M·L·巴法诺 ;

U·吉尔克里斯特 ;

W·富斯奈特 ;

C·霍夫梅斯特 ;

D·巴布斯 ;

R·C·梅 .

中国专利 :CN101578700B ,2009-11-11

[8]

基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法 [P].

伊藤泉 ;

水谷友哉 .

中国专利 :CN110534455A ,2019-12-03

[9]

一种晶圆盒装载端口的控制系统及检测方法 [P].

丁金龙 ;

陈杰 ;

赵佳强 ;

毛焕 ;

吕维迪 ;

周亮 ;

杨子臣 ;

廖博轩 .

中国专利 :CN120020663A ,2025-05-20

[10]

热场组件的装载设备、半导体工艺设备、装载系统和方法 [P].

杨钦淞 ;

郭雪娇 .

中国专利 :CN114348917B ,2024-11-26

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