外延生长方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810947746.1

申请日：

2018-08-20

公开(公告)号：

CN109148266A

公开(公告)日：

2019-01-04

发明(设计)人：

伍洲黄锦才

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2906 H01L29167

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

戴广志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20180820
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20190104
2019-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1812053A ,2006-08-02

[2]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1832110A ,2006-09-13

[3]

外延生长方法 [P].

缪燕 .

中国专利 :CN102456551A ,2012-05-16

[4]

外延生长方法 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117637444B ,2024-06-07

[5]

外延生长方法 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117637444A ,2024-03-01

[6]

外延生长基座与外延生长方法 [P].

石桥昌幸 ;

J·F·克鲁格 ;

土肥敬幸 ;

堀江大造 ;

藤川孝 .

中国专利 :CN1526158A ,2004-09-01

[7]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

马欢 ;

田娜娜 ;

葛永晖 ;

蔡历武 ;

张明 .

中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02

[8]

外延生长装置和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110685009A ,2020-01-14

[9]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[10]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

← 1 2 3 4 5 →