一种硅片切割用切割液回收装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820209410.0
申请日
2018-02-07
公开(公告)号
CN208392366U
公开(公告)日
2019-01-18
发明(设计)人
施文周
申请人
申请人地址
212216 江苏省镇江市扬中市新材料工业园环太路1号
IPC主分类号
B28D700
IPC分类号
代理机构
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258
代理人
季萍
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
薄硅片切割液废液回收装置 [P]. 
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[2]
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[3]
一种硅片切割用定位装置 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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