一种硅片切割液回收装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820467262.2
申请日
2018-03-30
公开(公告)号
CN208263220U
公开(公告)日
2018-12-21
发明(设计)人
吴昌皂
申请人
申请人地址
222000 江苏省连云港市赣榆区柘汪临港产业区发展大道68号
IPC主分类号
B28D702
IPC分类号
B28D700
代理机构
连云港润知专利代理事务所 32255
代理人
王彦明
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
薄硅片切割液废液回收装置 [P]. 
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[3]
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[4]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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