脆性材料基板的划线方法及划线装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02815702.8

申请日：

2002-08-08

公开(公告)号：

CN1242458C

公开(公告)日：

2004-10-27

发明(设计)人：

若山治雄

申请人：

申请人地址：

日本大阪

IPC主分类号：

H01L21301

IPC分类号：

C03B3302 C03B3310 B23K2638

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

黄剑锋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-01-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-10-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101587171944 IPC(主分类):H01L 21/301 专利号:ZL028157028 申请日:20020808 授权公告日:20060215 终止日期:20130808
2006-02-15	授权	授权
2004-10-27	公开	公开

共 50 条

[1]

脆性材料基板的划线方法及划线装置 [P].

藤井昌宏 ;

井上修一 .

中国专利 :CN1638931A ,2005-07-13

[2]

脆性材料基板的划线装置和脆性材料基板的划线方法 [P].

若山治雄 .

中国专利 :CN1827311A ,2006-09-06

[3]

脆性材料基板的划线装置和脆性材料基板的划线方法 [P].

若山治雄 .

中国专利 :CN1255858C ,2004-09-15

[4]

脆性材料基板的划线方法和划线装置以及脆性材料基板的切断系统 [P].

高松生芳 ;

音田健司 .

中国专利 :CN101068666A ,2007-11-07

[5]

脆性材料基板、脆性材料基板的激光划线方法及激光划线装置 [P].

山本幸司 ;

在间则文 ;

五户统悟 ;

熊谷透 ;

井上修一 .

中国专利 :CN101821071A ,2010-09-01

[6]

脆性材料的划线方法以及划线装置 [P].

藤井昌宏 .

中国专利 :CN101043992A ,2007-09-26

[7]

脆性材料衬底的划线装置以及划线方法 [P].

音田健司 ;

西尾仁孝 .

中国专利 :CN1665656A ,2005-09-07

[8]

脆性材料基板的划线方法 [P].

村上政直 ;

清水政二 .

中国专利 :CN103130409B ,2013-06-05

[9]

脆性材料基板的划线方法和划线设备 [P].

松本真人 ;

五户统悟 .

中国专利 :CN1871104A ,2006-11-29

[10]

脆性材料用划线轮、划线方法、划线装置及划线工具 [P].

前川和哉 ;

若山治雄 .

中国专利 :CN101218078B ,2008-07-09

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