一种用于微纳米粉体的磁控溅射连续镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610070634.3

申请日：

2016-02-01

公开(公告)号：

CN107022743B

公开(公告)日：

2017-08-08

发明(设计)人：

唐晓峰逯琪董建廷李大铭张文彬雷芝红

申请人：

申请人地址：

201699 上海市松江区永航路188弄1号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-08	公开	公开
2017-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101745167899 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016100706343 申请日:20160201
2019-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于微纳米粉体的磁控溅射连续镀膜设备 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 ;

李大铭 ;

张文彬 ;

雷芝红 .

中国专利 :CN205347566U ,2016-06-29

[2]

一种用于微纳米粉体磁控溅射连续镀膜的振动输送样品台 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 ;

张文彬 ;

雷芝红 .

中国专利 :CN205974651U ,2017-02-22

[3]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 .

中国专利 :CN205275692U ,2016-06-01

[4]

一种磁控溅射微纳米粉体镀膜布料装置 [P].

邓昌沪 .

中国专利 :CN205856594U ,2017-01-04

[5]

一种磁控溅射微纳米粉体镀膜布料装置 [P].

邓昌沪 .

中国专利 :CN107365969A ,2017-11-21

[6]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 .

中国专利 :CN106929809A ,2017-07-07

[7]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备 [P].

齐振宇 .

中国专利 :CN222956646U ,2025-06-10

[8]

一种磁控溅射连续镀膜设备 [P].

金晨 ;

韩彬 ;

李建银 .

中国专利 :CN208917290U ,2019-05-31

[9]

一种超细粉体磁控溅射镀膜设备 [P].

唐晓峰 ;

李大铭 ;

董建廷 ;

逯琪 .

中国专利 :CN205275691U ,2016-06-01

[10]

一种超细粉体磁控溅射镀膜设备 [P].

唐晓峰 ;

李大铭 ;

董建廷 ;

逯琪 .

中国专利 :CN106929808A ,2017-07-07

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