一种用于微纳米粉体磁控溅射连续镀膜的振动输送样品台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621013987.1

申请日：

2016-08-31

公开(公告)号：

CN205974651U

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

唐晓峰逯琪董建廷张文彬雷芝红

申请人：

申请人地址：

201699 上海市松江区永航路188弄1号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456 C23C1450

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	授权	授权
2018-05-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20180411 变更事项:专利权人变更前权利人:上海朗亿新材料科技有限公司变更后权利人:上海朗亿新材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201699 上海市松江区永航路188弄1号变更后权利人:201699 上海市松江区永航路188弄1号变更事项:共同专利权人变更后权利人:上海朗亿功能材料有限公司

共 50 条

[1]

一种用于微纳米粉体的磁控溅射连续镀膜设备 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 ;

李大铭 ;

张文彬 ;

雷芝红 .

中国专利 :CN107022743B ,2017-08-08

[2]

一种用于微纳米粉体的磁控溅射连续镀膜设备 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 ;

李大铭 ;

张文彬 ;

雷芝红 .

中国专利 :CN205347566U ,2016-06-29

[3]

一种磁控溅射微纳米粉体镀膜布料装置 [P].

邓昌沪 .

中国专利 :CN205856594U ,2017-01-04

[4]

一种磁控溅射微纳米粉体镀膜布料装置 [P].

邓昌沪 .

中国专利 :CN107365969A ,2017-11-21

[5]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 .

中国专利 :CN205275692U ,2016-06-01

[6]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备 [P].

齐振宇 .

中国专利 :CN222956646U ,2025-06-10

[7]

一种用于微纳米粉体镀膜的连续生产设备及其制备方法 [P].

唐晓峰 ;

逯琪 ;

董建廷 .

中国专利 :CN106929809A ,2017-07-07

[8]

一种磁控溅射连续镀膜设备 [P].

金晨 ;

韩彬 ;

李建银 .

中国专利 :CN208917290U ,2019-05-31

[9]

一种粉体磁控溅射共振样品台 [P].

武海军 ;

周相宏 ;

彭古扬 ;

宋彤 ;

张杨 .

中国专利 :CN120536881A ,2025-08-26

[10]

一种磁控溅射镀膜工件台 [P].

陈庆广 ;

陈特超 ;

佘鹏程 ;

毛朝斌 .

中国专利 :CN105112879A ,2015-12-02

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