一种磁控溅射镀膜工件台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510576683.X

申请日：

2015-09-11

公开(公告)号：

CN105112879A

公开(公告)日：

2015-12-02

发明(设计)人：

陈庆广陈特超佘鹏程毛朝斌

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

湖南兆弘专利事务所 43008

代理人：

周长清

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/50 申请公布日:20151202
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640139955 IPC(主分类):C23C 14/50 专利申请号:201510576683X 申请日:20150911
2015-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

俞峰 ;

郑曜 ;

徐建柱 ;

黄俊凯 .

中国专利 :CN120719267B ,2025-12-16

[2]

用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

俞峰 ;

郑曜 ;

徐建柱 ;

黄俊凯 .

中国专利 :CN120719267A ,2025-09-30

[3]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

[4]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN203683655U ,2014-07-02

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

赵红艳 ;

钱涛 .

中国专利 :CN102212779A ,2011-10-12

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

李磊 ;

刘鹏飞 ;

雷艳辉 ;

朱潇潇 .

中国专利 :CN220432955U ,2024-02-02

[7]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

赵红艳 ;

钱涛 .

中国专利 :CN202157113U ,2012-03-07

[8]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[9]

一种磁控溅射镀膜 [P].

徐伟伟 ;

刘战合 ;

张克杰 ;

李秋影 .

中国专利 :CN104788954B ,2015-07-22

[10]

磁控溅射镀膜阴极装置 [P].

白振中 ;

江少华 .

中国专利 :CN101812667A ,2010-08-25

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