晶圆转移装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611264253.5

申请日：

2016-12-31

公开(公告)号：

CN106783710A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

王振荣黄春杰黄利松

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729194837 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2016112642535 申请日:20161231

共 50 条

[1]

晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN106783710B ,2024-01-12

[2]

晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN206584905U ,2017-10-24

[3]

新型晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN106601659A ,2017-04-26

[4]

新型晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN206363993U ,2017-07-28

[5]

新型晶圆转移装置 [P].

王振荣 ;

黄春杰 ;

黄利松 .

中国专利 :CN106601659B ,2024-02-02

[6]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409383B ,2015-03-11

[7]

晶圆转移装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271049U ,2015-04-15

[8]

晶圆转移装置 [P].

王二伟 .

中国专利 :CN211320066U ,2020-08-21

[9]

晶圆转移装置 [P].

黄中山 ;

金補哲 ;

朴绍延 ;

郑真焕 .

中国专利 :CN115360131A ,2022-11-18

[10]

晶圆转移装置 [P].

严云飞 ;

吴凯 ;

林震 ;

李宗缘 ;

刘阿灶 ;

王鑫光 ;

刘斌 ;

姚飙 .

中国专利 :CN222126474U ,2024-12-06

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