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LED晶圆片的切割方法及切割装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810271895.0
申请日
:
2018-03-29
公开(公告)号
:
CN108500477A
公开(公告)日
:
2018-09-07
发明(设计)人
:
冯玙璠
陈治贤
庄昌辉
范小贞
赵前来
黄汉杰
尹建刚
高云峰
申请人
:
申请人地址
:
518051 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
IPC主分类号
:
B23K2638
IPC分类号
:
B23K2606
B23K26067
代理机构
:
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
:
石佩
法律状态
:
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-02-25
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23K 26/38 申请公布日:20180907
2018-10-09
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/38 申请日:20180329
2018-09-07
公开
公开
共 50 条
[1]
LED晶圆片的切割装置及切割方法
[P].
冯玙璠
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冯玙璠
;
陈治贤
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陈治贤
;
庄昌辉
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庄昌辉
;
范小贞
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范小贞
;
赵前来
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赵前来
;
黄汉杰
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黄汉杰
;
尹建刚
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尹建刚
;
高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN108515273A
,2018-09-11
[2]
LED晶圆片的切割装置
[P].
苏革烈
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苏革烈
.
中国专利
:CN109531840A
,2019-03-29
[3]
晶圆切割方法及晶圆切割装置
[P].
陈剑
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陈剑
.
中国专利
:CN114227962A
,2022-03-25
[4]
晶圆切割装置及晶圆切割方法
[P].
谢炜
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长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
谢炜
;
莫平
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长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
莫平
;
刘磊
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长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
刘磊
;
吕忠
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长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
吕忠
;
夏志良
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长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
夏志良
;
霍宗亮
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机构:
长江存储科技有限责任公司
长江存储科技有限责任公司
霍宗亮
.
中国专利
:CN119325639A
,2025-01-17
[5]
晶圆切割装置及晶圆切割方法
[P].
魏通
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盛合晶微半导体(江阴)有限公司
盛合晶微半导体(江阴)有限公司
魏通
;
俞忠良
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盛合晶微半导体(江阴)有限公司
盛合晶微半导体(江阴)有限公司
俞忠良
;
吴庆锋
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盛合晶微半导体(江阴)有限公司
盛合晶微半导体(江阴)有限公司
吴庆锋
;
吴秋明
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盛合晶微半导体(江阴)有限公司
盛合晶微半导体(江阴)有限公司
吴秋明
.
中国专利
:CN118268733A
,2024-07-02
[6]
晶圆片切割的装置
[P].
陈畅
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陈畅
;
柳啸
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柳啸
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卢庆光
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卢庆光
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杨深明
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杨深明
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卢建刚
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卢建刚
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尹建刚
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN109732223A
,2019-05-10
[7]
晶圆切割设备及晶圆切割方法
[P].
宋林杰
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宋林杰
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刘天建
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刘天建
;
田应超
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田应超
.
中国专利
:CN115041841A
,2022-09-13
[8]
晶圆片激光切割方法及晶圆片加工方法
[P].
高昆
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高昆
;
叶树铃
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叶树铃
;
庄昌辉
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庄昌辉
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邴虹
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邴虹
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李瑜
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李瑜
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张红江
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张红江
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李福海
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李福海
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迟彦龙
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迟彦龙
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欧明辉
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欧明辉
;
高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN103537805B
,2014-01-29
[9]
晶圆片的激光全切割方法
[P].
何国洪
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何国洪
.
中国专利
:CN111299866A
,2020-06-19
[10]
承载膜、晶圆切割装置及晶圆切割方法
[P].
潘志刚
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机构:
武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
潘志刚
;
石天福
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机构:
武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
石天福
;
吴之焱
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武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
吴之焱
.
中国专利
:CN118448331A
,2024-08-06
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