LED晶圆片的切割方法及切割装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810271895.0
申请日
2018-03-29
公开(公告)号
CN108500477A
公开(公告)日
2018-09-07
发明(设计)人
冯玙璠 陈治贤 庄昌辉 范小贞 赵前来 黄汉杰 尹建刚 高云峰
申请人
申请人地址
518051 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
IPC主分类号
B23K2638
IPC分类号
B23K2606 B23K26067
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
石佩
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
LED晶圆片的切割装置及切割方法 [P]. 
冯玙璠 ;
陈治贤 ;
庄昌辉 ;
范小贞 ;
赵前来 ;
黄汉杰 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN108515273A ,2018-09-11
[2]
LED晶圆片的切割装置 [P]. 
苏革烈 .
中国专利 :CN109531840A ,2019-03-29
[3]
晶圆切割方法及晶圆切割装置 [P]. 
陈剑 .
中国专利 :CN114227962A ,2022-03-25
[4]
晶圆切割装置及晶圆切割方法 [P]. 
谢炜 ;
莫平 ;
刘磊 ;
吕忠 ;
夏志良 ;
霍宗亮 .
中国专利 :CN119325639A ,2025-01-17
[5]
晶圆切割装置及晶圆切割方法 [P]. 
魏通 ;
俞忠良 ;
吴庆锋 ;
吴秋明 .
中国专利 :CN118268733A ,2024-07-02
[6]
晶圆片切割的装置 [P]. 
陈畅 ;
柳啸 ;
卢庆光 ;
杨深明 ;
卢建刚 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN109732223A ,2019-05-10
[7]
晶圆切割设备及晶圆切割方法 [P]. 
宋林杰 ;
刘天建 ;
田应超 .
中国专利 :CN115041841A ,2022-09-13
[8]
晶圆片激光切割方法及晶圆片加工方法 [P]. 
高昆 ;
叶树铃 ;
庄昌辉 ;
邴虹 ;
李瑜 ;
张红江 ;
李福海 ;
迟彦龙 ;
欧明辉 ;
高云峰 .
中国专利 :CN103537805B ,2014-01-29
[9]
晶圆片的激光全切割方法 [P]. 
何国洪 .
中国专利 :CN111299866A ,2020-06-19
[10]
承载膜、晶圆切割装置及晶圆切割方法 [P]. 
潘志刚 ;
石天福 ;
吴之焱 .
中国专利 :CN118448331A ,2024-08-06