光学元件位相型缺陷测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821361664.0

申请日：

2018-08-23

公开(公告)号：

CN208705241U

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

李杰许乔李亚国巴荣声张霖周信达郑垠波丁磊柴立群

申请人：

申请人地址：

621900 四川省绵阳市绵山路64号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	授权	授权
2021-08-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20180823 授权公告日:20190405 终止日期:20200823

共 50 条

[1]

光学元件位相型缺陷测量装置及检测方法 [P].

李杰 ;

许乔 ;

李亚国 ;

巴荣声 ;

张霖 ;

周信达 ;

郑垠波 ;

丁磊 ;

柴立群 .

中国专利 :CN108802056B ,2024-02-06

[2]

光学元件位相型缺陷测量装置及检测方法 [P].

李杰 ;

许乔 ;

李亚国 ;

巴荣声 ;

张霖 ;

周信达 ;

郑垠波 ;

丁磊 ;

柴立群 .

中国专利 :CN108802056A ,2018-11-13

[3]

光学元件多模态原位缺陷测量装置和测量方法 [P].

刘世杰 ;

倪开灶 ;

邹超逸 ;

邵建达 ;

王微微 ;

李英甲 .

中国专利 :CN112229606A ,2021-01-15

[4]

基于激光回馈的光学元件微小位相延迟测量装置 [P].

费立刚 ;

张书练 .

中国专利 :CN101650226A ,2010-02-17

[5]

微纳光学元件光学参数测量装置 [P].

李建龙 ;

董春美 .

中国专利 :CN201594033U ,2010-09-29

[6]

测量系统及其光学元件 [P].

邓文平 ;

赵辉 .

中国专利 :CN205103153U ,2016-03-23

[7]

光学元件激光诱导损伤三维形貌在线测量装置和测量方法 [P].

李杰 ;

巴荣声 ;

周信达 ;

郑垠波 ;

丁磊 ;

徐宏磊 ;

袁静 ;

陈波 ;

柴立群 .

中国专利 :CN108007381A ,2018-05-08

[8]

光学元件缺陷扫描装置 [P].

范星诺 ;

李学春 ;

范薇 ;

姜有恩 ;

梁龙 .

中国专利 :CN103217437A ,2013-07-24

[9]

平凸光学元件中心偏差测量装置 [P].

李建宏 ;

王世武 ;

聂奕 ;

黄波 .

中国专利 :CN214426950U ,2021-10-19

[10]

薄壁自由曲面光学元件夹持变形的测量装置 [P].

万新军 ;

庄松林 ;

张书练 ;

谈宜东 ;

解树平 ;

张卓男 .

中国专利 :CN211234313U ,2020-08-11

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