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一种半绝缘砷化镓多晶掺碳的制备装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201720950705.9
申请日
:
2017-08-01
公开(公告)号
:
CN207210579U
公开(公告)日
:
2018-04-10
发明(设计)人
:
易德福
守建川
何军
陈佳丽
申请人
:
申请人地址
:
344000 江西省抚州市金柅大道198号创业园A7栋3楼
IPC主分类号
:
C30B3108
IPC分类号
:
C30B3110
C30B3112
C30B2942
代理机构
:
苏州国诚专利代理有限公司 32293
代理人
:
韩凤
法律状态
:
专利权的终止
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-07-15
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 31/08 申请日:20170801 授权公告日:20180410 终止日期:20210801
2018-04-10
授权
授权
共 50 条
[1]
一种半绝缘砷化镓多晶掺碳的制备方法及装置
[P].
易德福
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易德福
;
守建川
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守建川
;
何军
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何军
;
陈佳丽
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陈佳丽
.
中国专利
:CN107268085A
,2017-10-20
[2]
一种半绝缘砷化镓掺碳装置
[P].
马争荣
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马争荣
;
王建玲
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王建玲
.
中国专利
:CN213447384U
,2021-06-15
[3]
一种生长半绝缘砷化镓单晶的掺碳装置
[P].
雷仁贵
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雷仁贵
;
于会永
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于会永
;
冯佳峰
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冯佳峰
;
袁韶阳
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袁韶阳
;
赵中阳
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赵中阳
;
张军军
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张军军
;
赵春锋
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赵春锋
.
中国专利
:CN214529324U
,2021-10-29
[4]
一种生长半绝缘砷化镓单晶的掺碳装置及掺碳方法
[P].
雷仁贵
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雷仁贵
;
于会永
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于会永
;
冯佳峰
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冯佳峰
;
袁韶阳
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袁韶阳
;
赵中阳
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赵中阳
;
张军军
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张军军
;
赵春锋
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赵春锋
.
中国专利
:CN113136616A
,2021-07-20
[5]
一种碳掺杂砷化镓多晶及其制备方法、制备碳掺杂砷化镓多晶的设备
[P].
王金灵
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
王金灵
;
罗小龙
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
罗小龙
;
易明辉
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机构:
广东先导微电子科技有限公司
广东先导微电子科技有限公司
易明辉
.
中国专利
:CN118979306A
,2024-11-19
[6]
生长半绝缘砷化镓的石英管及在砷化镓中掺碳的方法
[P].
占荣
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占荣
;
惠峰
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惠峰
;
赵有文
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赵有文
.
中国专利
:CN101603208A
,2009-12-16
[7]
砷化镓多晶合成装置
[P].
刘留
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刘留
;
罗小龙
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罗小龙
.
中国专利
:CN207525376U
,2018-06-22
[8]
一种砷化镓多晶的合成装置
[P].
蒙泽志
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蒙泽志
;
彭海松
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彭海松
;
彭春文
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彭春文
;
代晓波
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代晓波
;
吕利宁
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吕利宁
;
粟誉
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粟誉
.
中国专利
:CN217895798U
,2022-11-25
[9]
一种砷化镓多晶的合成装置
[P].
罗小龙
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罗小龙
;
周铁军
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周铁军
;
易明辉
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易明辉
;
曾国治
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曾国治
.
中国专利
:CN215887309U
,2022-02-22
[10]
一种砷化镓多晶合成装置
[P].
杨向东
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杨向东
;
李玉平
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李玉平
;
侯利伟
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侯利伟
;
李晓
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李晓
.
中国专利
:CN206385278U
,2017-08-08
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