一种碳化硅晶片抛光用的固定装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920990419.4

申请日：

2019-06-28

公开(公告)号：

CN210060737U

公开(公告)日：

2020-02-14

发明(设计)人：

王静辉曾昊崔素杭张乾李帅

申请人：

申请人地址：

050200 河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4106 B24B2700 B24B4916 B24B4100

代理机构：

石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115

代理人：

周大伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-14	授权	授权
2021-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190628 授权公告日:20200214 终止日期:20200628

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶片抛光用固定装置 [P].

李春财 ;

任宏志 .

中国专利 :CN221658986U ,2024-09-06

[2]

碳化硅晶片抛光用的制备装置 [P].

高中伟 ;

常杰 ;

张静娜 ;

高增禄 .

中国专利 :CN217194633U ,2022-08-16

[3]

一种碳化硅晶片的抛光装置 [P].

崔素杭 ;

白欣娇 ;

李帅 ;

李晓波 ;

张震 .

中国专利 :CN210060646U ,2020-02-14

[4]

一种碳化硅晶片切割装置 [P].

邓磊 ;

杨明晨 .

中国专利 :CN221540264U ,2024-08-16

[5]

一种单晶碳化硅晶片加工装置 [P].

林武庆 ;

张洁 ;

苏双图 ;

陈文鹏 .

中国专利 :CN211028572U ,2020-07-17

[6]

一种碳化硅晶体固定装置 [P].

连旗锋 ;

林圳峰 .

中国专利 :CN221365282U ,2024-07-19

[7]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

贺贤汉 ;

章磊 ;

李有群 ;

陈辉 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216504265U ,2022-05-13

[8]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

白欣娇 ;

李帅 ;

曾昊 ;

申硕 ;

崔素杭 .

中国专利 :CN211916473U ,2020-11-13

[9]

一种碳化硅坩埚运输用固定装置 [P].

谈盛康 .

中国专利 :CN218142905U ,2022-12-27

[10]

一种碳化硅晶棒切割用的辅助固定装置 [P].

甘琨 ;

李怀水 ;

张乾 ;

李婷婷 ;

袁凤坡 .

中国专利 :CN210361997U ,2020-04-21

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