一种用于碳化硅晶片的抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020470225.4

申请日：

2020-04-02

公开(公告)号：

CN211916473U

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

白欣娇李帅曾昊申硕崔素杭

申请人：

申请人地址：

050200 河北省石家庄市鹿泉区高新技术开发区昌盛大街21号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4916 B24B4102 B24B4100 B24B4106 B24B722 B24B4712 B24B2700

代理机构：

石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115

代理人：

周大伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶片的抛光装置 [P].

崔素杭 ;

白欣娇 ;

李帅 ;

李晓波 ;

张震 .

中国专利 :CN210060646U ,2020-02-14

[2]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

贺贤汉 ;

章磊 ;

李有群 ;

陈辉 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216504265U ,2022-05-13

[3]

碳化硅晶片抛光设备 [P].

张学良 ;

袁巨龙 ;

邓乾发 ;

杭伟 ;

王佳焕 .

中国专利 :CN115502870A ,2022-12-23

[4]

碳化硅晶片抛光设备 [P].

张学良 ;

袁巨龙 ;

邓乾发 ;

杭伟 ;

王佳焕 .

中国专利 :CN115502870B ,2025-04-29

[5]

一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置 [P].

李旭明 ;

刘治洲 ;

蔡立志 ;

王锡铭 ;

李潇阳 ;

刘岩 .

中国专利 :CN117415698A ,2024-01-19

[6]

一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置 [P].

李旭明 ;

刘治洲 ;

蔡立志 ;

王锡铭 ;

李潇阳 ;

刘岩 .

中国专利 :CN117415698B ,2024-02-13

[7]

一种用于碳化硅晶片的抛光设备 [P].

李旭明 ;

王锡铭 ;

付文川 ;

刘治洲 ;

王飞 ;

贾文欢 .

中国专利 :CN117340769A ,2024-01-05

[8]

一种用于碳化硅晶片的抛光设备 [P].

李旭明 ;

王锡铭 ;

付文川 ;

刘治洲 ;

王飞 ;

贾文欢 .

中国专利 :CN117340769B ,2024-02-23

[9]

一种用于碳化硅晶片的检测装置 [P].

李有群 ;

贺贤汉 ;

章磊 ;

卢晨 ;

顾雪龙 .

中国专利 :CN216978810U ,2022-07-15

[10]

一种用于碳化硅晶片的检测装置 [P].

申雪珍 ;

邹宇 ;

张平 .

中国专利 :CN215599041U ,2022-01-21

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