一种用于碳化硅晶片的检测装置

被引：0

申请号：

CN202220525374.5

申请日：

2022-03-11

公开(公告)号：

CN216978810U

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

李有群贺贤汉章磊卢晨顾雪龙

申请人：

申请人地址：

244000 安徽省铜陵市经济开发区西湖三路

IPC主分类号：

G01N2101

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105

代理人：

李坤

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于碳化硅晶片的检测装置 [P].

申雪珍 ;

邹宇 ;

张平 .

中国专利 :CN215599041U ,2022-01-21

[2]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

章娇 ;

潘传杨 ;

徐晨 .

中国专利 :CN222913463U ,2025-05-27

[3]

一种用于碳化硅晶片的抛光装置 [P].

白欣娇 ;

李帅 ;

曾昊 ;

申硕 ;

崔素杭 .

中国专利 :CN211916473U ,2020-11-13

[4]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

周磊 ;

周杰 ;

田涵文 .

中国专利 :CN222866569U ,2025-05-13

[5]

一种用于碳化硅晶片腐蚀装置 [P].

姚志勇 ;

贺贤汉 ;

李有群 ;

陈辉 ;

吴寒 .

中国专利 :CN217158132U ,2022-08-09

[6]

一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置 [P].

宁敏 ;

刘云青 ;

张红岩 ;

高玉强 .

中国专利 :CN203643357U ,2014-06-11

[7]

一种用于导电型碳化硅晶片的应力检测装置 [P].

顾跃 ;

黄晓升 .

中国专利 :CN218180159U ,2022-12-30

[8]

碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN112746324B ,2024-04-30

[9]

碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746324A ,2021-05-04

[10]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04

← 1 2 3 4 5 →