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一种用于导电型碳化硅晶片的应力检测装置
被引：0
申请号：
CN202222799044.8
申请日：
2022-10-24
公开(公告)号：
CN218180159U
公开(公告)日：
2022-12-30
发明(设计)人：
顾跃
黄晓升
申请人：
申请人地址：
361006 福建省厦门市火炬高新区火炬园火炬路56-58号火炬广场南楼420-95
IPC主分类号：
G01L124
IPC分类号：
代理机构：
重庆博凯知识产权代理有限公司 50212
代理人：
李海华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-30 | 授权 | 授权 |