用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置

被引：0

申请号：

CN202221248562.4

申请日：

2022-05-20

公开(公告)号：

CN217922436U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

丁雄傑韩景瑞刘薇邹雄辉李锡光

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

C30B2502 C30B2936

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈进芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置 [P].

丁雄傑 ;

韩景瑞 ;

刘薇 ;

邹雄辉 ;

李锡光 .

中国专利 :CN114808142A ,2022-07-29

[2]

用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置 [P].

丁雄傑 ;

韩景瑞 ;

刘薇 ;

邹雄辉 ;

李锡光 .

中国专利 :CN114808142B ,2025-07-04

[3]

一种用于导电型碳化硅晶片的应力检测装置 [P].

顾跃 ;

黄晓升 .

中国专利 :CN218180159U ,2022-12-30

[4]

碳化硅晶片退火装置 [P].

夏海洋 ;

刘少晗 ;

张旭 .

中国专利 :CN222251130U ,2024-12-27

[5]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

[6]

碳化硅晶片检查装置 [P].

刘素娟 ;

刘振洲 ;

鲍慧强 ;

刘雪梅 ;

叶欣怡 ;

王增泽 ;

杨帅 ;

李宪宾 ;

赵然 .

中国专利 :CN217931449U ,2022-11-29

[7]

碳化硅加热装置 [P].

孙瑞臣 .

中国专利 :CN218443306U ,2023-02-03

[8]

碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN112746324B ,2024-04-30

[9]

用于碳化硅外延的加热装置 [P].

傅林坚 ;

沈文杰 ;

周建灿 ;

邵鹏飞 ;

汤承伟 ;

周航 ;

潘礼钱 .

中国专利 :CN210765582U ,2020-06-16

[10]

碳化硅晶片以及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746324A ,2021-05-04

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