一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420003761.8

申请日：

2014-01-03

公开(公告)号：

CN203643357U

公开(公告)日：

2014-06-11

发明(设计)人：

宁敏刘云青张红岩高玉强

申请人：

申请人地址：

250000 山东省济南市历下区高新开发区新泺大街2008号银荷大厦3-409

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

代理机构：

济南舜源专利事务所有限公司 37205

代理人：

苗峻

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-18	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 21/88 变更事项:专利权人变更前:山东天岳先进材料科技有限公司变更后:山东天岳先进科技股份有限公司变更事项:地址变更前:250000 山东省济南市历下区高新开发区新泺大街2008号银荷大厦3-409 变更后:250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-01-10	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N 21/88 授权公告日:20140611 申请日:20140103 登记号:2018370000146 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:中国农业银行股份有限公司济南分行解除日:20191218
2018-08-28	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 登记号:2018370000146 登记生效日:20180806 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:中国农业银行股份有限公司济南分行实用新型名称:一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置申请日:20140103 授权公告日:20140611

共 50 条

[1]

一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置 [P].

李有群 ;

卓世异 ;

贺贤汉 ;

周国栋 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216622212U ,2022-05-27

[2]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

周磊 ;

周杰 ;

田涵文 .

中国专利 :CN222866569U ,2025-05-13

[3]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

章娇 ;

潘传杨 ;

徐晨 .

中国专利 :CN222913463U ,2025-05-27

[4]

一种碳化硅晶片的综合缺陷检测装置及方法 [P].

郭钰 ;

刘春俊 ;

张世颖 ;

柴海帅 ;

王波 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN114280009A ,2022-04-05

[5]

碳化硅晶片缺陷的检测方法 [P].

彭铁坤 ;

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

何明 .

中国专利 :CN119643564A ,2025-03-18

[6]

一种用于碳化硅晶片的检测装置 [P].

申雪珍 ;

邹宇 ;

张平 .

中国专利 :CN215599041U ,2022-01-21

[7]

一种碳化硅晶片缺陷腐蚀的装置 [P].

王欣 ;

柯尊斌 ;

陆敏 ;

王晗 .

中国专利 :CN221797750U ,2024-10-01

[8]

一种碳化硅晶片缺陷无损检测的方法和装置 [P].

李佳君 ;

宋雨萌 ;

王启宇 ;

朱信翼 ;

胡志毅 ;

徐南阳 .

中国专利 :CN118329924A ,2024-07-12

[9]

碳化硅衬底片宏观缺陷检测装置 [P].

陈传卫 ;

胡家乐 ;

徐玉婷 .

中国专利 :CN221303134U ,2024-07-09

[10]

低微管100mm碳化硅晶片 [P].

阿德里安.波维尔 ;

马克.布莱德 ;

罗伯特.泰勒.莱昂纳德 .

中国专利 :CN103422174A ,2013-12-04

← 1 2 3 4 5 →