碳化硅衬底片宏观缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323187430.2

申请日：

2023-11-24

公开(公告)号：

CN221303134U

公开(公告)日：

2024-07-09

发明(设计)人：

陈传卫胡家乐徐玉婷

申请人：

江苏集芯先进材料有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区电子信息产业园二期二号厂房

IPC主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/95

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-09	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅衬底片吸附台和碳化硅衬底片加工设备 [P].

林义复 ;

林育仪 ;

张炜国 .

中国专利 :CN220543881U ,2024-02-27

[2]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403B ,2025-09-05

[3]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403A ,2022-12-09

[4]

一种碳化硅衬底宏观检测装置 [P].

殷倩倩 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

吕春飞 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN120213955A ,2025-06-27

[5]

一种碳化硅衬底片剥离装置 [P].

李春财 ;

张永胜 .

中国专利 :CN222039114U ,2024-11-22

[6]

碳化硅衬底片测试用防倾倒装置 [P].

章卫东 .

中国专利 :CN223485141U ,2025-10-28

[7]

一种碳化硅衬底片封装装置 [P].

沈晓宇 ;

章萌春 ;

叶彬 ;

韩江山 ;

李嘉炜 .

中国专利 :CN216862367U ,2022-07-01

[8]

一种碳化硅衬底片取放装置 [P].

沈晓宇 ;

吴汪程 ;

冯纪慧 ;

连旗锋 ;

李嘉炜 .

中国专利 :CN216871917U ,2022-07-01

[9]

碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03

[10]

一种碳化硅衬底片清理装置 [P].

沈晓宇 .

中国专利 :CN118237307A ,2024-06-25

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