碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片

被引：0

申请号：

CN202211050310.5

申请日：

2022-08-30

公开(公告)号：

CN115458403A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

崔思远赵元亚文国昇金从龙

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈冬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20220830
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅衬底片的加工方法及碳化硅衬底片 [P].

崔思远 ;

赵元亚 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115458403B ,2025-09-05

[2]

碳化硅衬底片吸附台和碳化硅衬底片加工设备 [P].

林义复 ;

林育仪 ;

张炜国 .

中国专利 :CN220543881U ,2024-02-27

[3]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333B ,2025-10-10

[4]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333A ,2025-06-24

[5]

一种用于碳化硅衬底片的清洗剂及碳化硅衬底片的清洗工艺 [P].

张翔宇 ;

张贺 ;

宋林娜 ;

王芃 ;

朱明亮 ;

王波 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN119776084A ,2025-04-08

[6]

碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03

[7]

半绝缘碳化硅衬底制备方法及碳化硅衬底 [P].

宋立辉 ;

皮孝东 ;

杨德仁 ;

黄渊超 ;

刘帅 ;

熊慧凡 .

中国专利 :CN117637449A ,2024-03-01

[8]

碳化硅衬底片宏观缺陷检测装置 [P].

陈传卫 ;

胡家乐 ;

徐玉婷 .

中国专利 :CN221303134U ,2024-07-09

[9]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15

[10]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12

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