一种碳化硅晶片的综合缺陷检测装置及方法

被引：0

申请号：

CN202111671279.2

申请日：

2021-12-31

公开(公告)号：

CN114280009A

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

郭钰刘春俊张世颖柴海帅王波彭同华杨建

申请人：

申请人地址：

102600 北京市大兴区中关村科技园区大兴生物医药产业基地天荣大街9号2幢301室

IPC主分类号：

G01N2147

IPC分类号：

G01N2149 G01N2159

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

鲁梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/47 申请日:20211231
2022-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

周磊 ;

周杰 ;

田涵文 .

中国专利 :CN222866569U ,2025-05-13

[2]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

章娇 ;

潘传杨 ;

徐晨 .

中国专利 :CN222913463U ,2025-05-27

[3]

碳化硅晶片缺陷的检测方法 [P].

彭铁坤 ;

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

何明 .

中国专利 :CN119643564A ,2025-03-18

[4]

一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置 [P].

宁敏 ;

刘云青 ;

张红岩 ;

高玉强 .

中国专利 :CN203643357U ,2014-06-11

[5]

一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置 [P].

李有群 ;

卓世异 ;

贺贤汉 ;

周国栋 ;

孙大方 .

中国专利 :CN216622212U ,2022-05-27

[6]

一种碳化硅晶片缺陷无损检测的方法和装置 [P].

李佳君 ;

宋雨萌 ;

王启宇 ;

朱信翼 ;

胡志毅 ;

徐南阳 .

中国专利 :CN118329924A ,2024-07-12

[7]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04

[8]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN112746317B ,2024-05-31

[9]

一种碳化硅晶片及高准确率的碳化硅晶片位错检测方法 [P].

高冰 ;

丁幸 .

中国专利 :CN119688427A ,2025-03-25

[10]

一种碳化硅晶片及高准确率的碳化硅晶片位错检测方法 [P].

高冰 ;

丁幸 .

中国专利 :CN119688427B ,2025-07-15

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