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一种集成光电子器件制造用蚀刻装置
被引：0
申请号：
CN202211081136.0
申请日：
2022-09-06
公开(公告)号：
CN115148644A
公开(公告)日：
2022-10-04
发明(设计)人：
绳仁龙
田晓凡
张庆龙
申请人：
申请人地址：
277000 山东省枣庄市薛城区常庄四路浙大医疗园3号楼2楼201室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
山东菩勤专利代理有限公司 37343
代理人：
邱克强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-22 | 授权 | 授权 |
| 2022-10-04 | 公开 | 公开 |