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一种集成光电子器件蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322498721.7
申请日：
2023-09-14
公开(公告)号：
CN220798655U
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
李伟
董昌明
张珺楠
许超
梁玉稳
申请人：
安徽拓扑仪器设备有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市新站区涂山路以西天水路以北安徽远鸿机械自动化有限公司综合楼401
IPC主分类号：
H05K3/06
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
南京国润知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32696
代理人：
徐博
法律状态：
授权
国省代码：
黑龙江省
黑河市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-16 | 授权 | 授权 |