薄膜蒸镀设备和制造OLED显示装置的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210529162.5

申请日：

2012-12-10

公开(公告)号：

CN103866235A

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

叶添昇

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区龙东大道汇庆路889号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-18	公开	公开
2017-10-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20140618
2014-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583748479 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2012105291625 申请日:20121210

共 50 条

[1]

薄膜的蒸镀监测装置和方法及薄膜蒸镀装置和方法 [P].

许名宏 .

中国专利 :CN105177521A ,2015-12-23

[2]

OLED器件的有机薄膜蒸镀装置 [P].

郎丰伟 ;

田朝勇 .

中国专利 :CN106521421A ,2017-03-22

[3]

OLED显示装置及制造OLED显示装置的方法 [P].

松枝洋二郎 .

中国专利 :CN111863881A ,2020-10-30

[4]

OLED显示装置及制造OLED显示装置的方法 [P].

松枝洋二郎 .

日本专利 :CN111863881B ,2025-04-22

[5]

薄膜蒸镀方法及薄膜蒸镀装置 [P].

赵炳哲 ;

朴周焕 ;

李仁焕 .

中国专利 :CN103299398B ,2013-09-11

[6]

OLED显示装置及其制造方法、和OLED显示装置中的电路 [P].

松枝洋二郎 .

中国专利 :CN109285861A ,2019-01-29

[7]

OLED显示面板、其制造方法和OLED显示装置 [P].

刘超凡 ;

王冬旭 .

中国专利 :CN114823821A ,2022-07-29

[8]

蒸镀监测装置和方法以及薄膜蒸镀装置和方法 [P].

胡月 ;

许名宏 .

中国专利 :CN106978598A ,2017-07-25

[9]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[10]

键合方法、OLED蒸镀方法以及OLED装置的制造方法 [P].

王晓川 .

中国专利 :CN107887509A ,2018-04-06

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