薄膜蒸镀方法及薄膜蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180063879.9

申请日：

2011-12-29

公开(公告)号：

CN103299398B

公开(公告)日：

2013-09-11

发明(设计)人：

赵炳哲朴周焕李仁焕

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737652372 IPC(主分类):H01L 21/205 专利号:ZL2011800638799 变更事项:专利权人变更前:圆益IPS股份有限公司变更后:圆益控股股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞)
2016-08-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737652373 IPC(主分类):H01L 21/205 专利号:ZL2011800638799 登记生效日:20160801 变更事项:专利权人变更前权利人:圆益控股股份有限公司变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞) 变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2013-09-11	公开	公开
2015-12-09	授权	授权
2013-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101529130087 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2011800638799 申请日:20111229

共 50 条

[1]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[2]

蒸镀薄膜的蒸镀方法及制作设备、蒸镀薄膜、显示装置 [P].

张健 ;

黄俊杰 ;

王震 ;

曹飞 .

中国专利 :CN109023257A ,2018-12-18

[3]

薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法 [P].

朱儇佑 ;

许明洙 ;

李勇锡 ;

赵喆来 ;

金善浩 .

中国专利 :CN103966553A ,2014-08-06

[4]

蒸镀用基材薄膜和蒸镀薄膜 [P].

野本祐作 ;

中村公俊 .

日本专利 :CN119487109A ,2025-02-18

[5]

真空蒸镀装置及蒸镀薄膜制造方法 [P].

佐佐木昇 ;

铃木浩 ;

小泉文刚 ;

今井伸彦 ;

新井邦正 ;

小长井裕之 .

中国专利 :CN100582295C ,2006-02-08

[6]

薄膜蒸镀方法 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684947B ,2020-01-14

[7]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN208517518U ,2019-02-19

[8]

薄膜蒸镀装置 [P].

成普滥璨 ;

具教旭 ;

赵重根 .

中国专利 :CN102286730A ,2011-12-21

[9]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684949A ,2020-01-14

[10]

薄膜蒸镀装置 [P].

朴相俊 ;

金镇浩 ;

孙炳国 .

中国专利 :CN103140914B ,2013-06-05

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