薄膜蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810724771.3

申请日：

2018-07-04

公开(公告)号：

CN110684947B

公开(公告)日：

2020-01-14

发明(设计)人：

刘宇

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1414

代理机构：

北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662

代理人：

田俊峰

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/24 变更事项:申请人变更前:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司变更后:北京顶荣光伏科技有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室变更后:100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015
2021-05-11	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/24 登记生效日:20210427 变更事项:申请人变更前权利人:北京顶荣光伏科技有限公司变更后权利人:鸿翌科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015 变更后权利人:518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司)
2022-05-27	授权	授权
2020-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180704
2020-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜蒸镀方法及薄膜蒸镀装置 [P].

赵炳哲 ;

朴周焕 ;

李仁焕 .

中国专利 :CN103299398B ,2013-09-11

[2]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[3]

薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法 [P].

朱儇佑 ;

许明洙 ;

李勇锡 ;

赵喆来 ;

金善浩 .

中国专利 :CN103966553A ,2014-08-06

[4]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN208517518U ,2019-02-19

[5]

薄膜蒸镀装置 [P].

成普滥璨 ;

具教旭 ;

赵重根 .

中国专利 :CN102286730A ,2011-12-21

[6]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684949A ,2020-01-14

[7]

薄膜蒸镀装置 [P].

朴相俊 ;

金镇浩 ;

孙炳国 .

中国专利 :CN103140914B ,2013-06-05

[8]

薄膜蒸镀装置 [P].

谢洪涛 ;

沈雅琴 .

中国专利 :CN220485807U ,2024-02-13

[9]

薄膜的蒸镀监测装置和方法及薄膜蒸镀装置和方法 [P].

许名宏 .

中国专利 :CN105177521A ,2015-12-23

[10]

蒸气放出装置、有机薄膜蒸镀装置及有机薄膜蒸镀方法 [P].

根岸敏夫 ;

越田达彦 .

中国专利 :CN101803462A ,2010-08-11

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