蒸气放出装置、有机薄膜蒸镀装置及有机薄膜蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880107222.6

申请日：

2008-09-04

公开(公告)号：

CN101803462A

公开(公告)日：

2010-08-11

发明(设计)人：

根岸敏夫越田达彦

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H05B3310

IPC分类号：

C23C1412 H01L5150

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

严志军;杨楷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	授权	授权
2010-08-11	公开	公开
2010-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006240317 IPC(主分类):H05B 33/10 专利申请号:2008801072226 申请日:20080904

共 50 条

[1]

有机薄膜蒸镀装置、有机EL元件制造装置、及有机薄膜蒸镀方法 [P].

深尾万里 ;

菊地博 ;

砂贺芳雄 .

中国专利 :CN102177270A ,2011-09-07

[2]

薄膜蒸镀方法及薄膜蒸镀装置 [P].

赵炳哲 ;

朴周焕 ;

李仁焕 .

中国专利 :CN103299398B ,2013-09-11

[3]

有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法 [P].

根岸敏夫 .

中国专利 :CN101356296B ,2009-01-28

[4]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[5]

薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法 [P].

朱儇佑 ;

许明洙 ;

李勇锡 ;

赵喆来 ;

金善浩 .

中国专利 :CN103966553A ,2014-08-06

[6]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN208517518U ,2019-02-19

[7]

薄膜蒸镀装置 [P].

成普滥璨 ;

具教旭 ;

赵重根 .

中国专利 :CN102286730A ,2011-12-21

[8]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684949A ,2020-01-14

[9]

OLED器件的有机薄膜蒸镀装置 [P].

郎丰伟 ;

田朝勇 .

中国专利 :CN106521421A ,2017-03-22

[10]

薄膜蒸镀装置 [P].

朴相俊 ;

金镇浩 ;

孙炳国 .

中国专利 :CN103140914B ,2013-06-05

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