薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310291168.8

申请日：

2013-07-11

公开(公告)号：

CN103966553A

公开(公告)日：

2014-08-06

发明(设计)人：

朱儇佑许明洙李勇锡赵喆来金善浩

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

张云珠;邱玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-06	公开	公开
2016-09-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739050958 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013102911688 申请公布日:20140806

共 50 条

[1]

薄膜蒸镀方法及薄膜蒸镀装置 [P].

赵炳哲 ;

朴周焕 ;

李仁焕 .

中国专利 :CN103299398B ,2013-09-11

[2]

薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统 [P].

山佳卫 ;

庄渊博 ;

山佳逸峡 .

中国专利 :CN204237860U ,2015-04-01

[3]

薄膜蒸镀方法 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684947B ,2020-01-14

[4]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN208517518U ,2019-02-19

[5]

薄膜蒸镀装置 [P].

成普滥璨 ;

具教旭 ;

赵重根 .

中国专利 :CN102286730A ,2011-12-21

[6]

薄膜蒸镀装置 [P].

刘宇 .

中国专利 :CN110684949A ,2020-01-14

[7]

薄膜蒸镀装置 [P].

朴相俊 ;

金镇浩 ;

孙炳国 .

中国专利 :CN103140914B ,2013-06-05

[8]

薄膜蒸镀装置 [P].

谢洪涛 ;

沈雅琴 .

中国专利 :CN220485807U ,2024-02-13

[9]

薄膜的蒸镀监测装置和方法及薄膜蒸镀装置和方法 [P].

许名宏 .

中国专利 :CN105177521A ,2015-12-23

[10]

蒸气放出装置、有机薄膜蒸镀装置及有机薄膜蒸镀方法 [P].

根岸敏夫 ;

越田达彦 .

中国专利 :CN101803462A ,2010-08-11

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