有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780001375.8

申请日：

2007-05-11

公开(公告)号：

CN101356296B

公开(公告)日：

2009-01-28

发明(设计)人：

根岸敏夫

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

H05B3310 H01L5150

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

温大鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-28	公开	公开
2009-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀源、蒸镀装置、有机薄膜的成膜方法 [P].

根岸敏夫 .

中国专利 :CN101622372A ,2010-01-06

[2]

蒸气放出装置、有机薄膜蒸镀装置及有机薄膜蒸镀方法 [P].

根岸敏夫 ;

越田达彦 .

中国专利 :CN101803462A ,2010-08-11

[3]

蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法 [P].

西田光志 ;

岸本克彥 .

中国专利 :CN109072401A ,2018-12-21

[4]

OLED器件的有机薄膜蒸镀装置 [P].

郎丰伟 ;

田朝勇 .

中国专利 :CN106521421A ,2017-03-22

[5]

有机材料用蒸发源及有机蒸镀装置 [P].

根岸敏夫 ;

越田达彦 ;

羽根功二 ;

中村寿充 .

中国专利 :CN1950536A ,2007-04-18

[6]

有机材料真空蒸镀设备 [P].

张洪杰 ;

周亮 ;

李成宇 ;

邓瑞平 .

中国专利 :CN103726023A ,2014-04-16

[7]

蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法 [P].

西田光志 ;

矢野耕三 ;

岸本克彥 ;

崎尾进 .

中国专利 :CN109072402A ,2018-12-21

[8]

蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法 [P].

崎尾进 ;

岸本克彦 .

中国专利 :CN110997974A ,2020-04-10

[9]

蒸镀材料、蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置的制造方法 [P].

小林勇毅 .

日本专利 :CN118147586A ,2024-06-07

[10]

有机材料蒸镀设备和方法 [P].

陈黎暄 .

中国专利 :CN106654058A ,2017-05-10

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