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GaN电桥式绝压压力传感器及制作方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810258305.0
申请日：
2018-03-27
公开(公告)号：
CN108519174A
公开(公告)日：
2018-09-11
发明(设计)人：
吕元杰 谭鑫 周幸叶 宋旭波 王元刚 冯志红
申请人：
申请人地址：
050051 河北省石家庄市合作路113号
IPC主分类号：
G01L116
IPC分类号：
代理机构：
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人：
谢茵
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-09-11 公开 公开
2020-09-08 授权 授权
2018-10-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/16 申请日:20180327
共 50 条
[1]
一种电桥式GaN压力传感器制备方法及器件 [P]. 
谭鑫 ;
吕元杰 ;
周幸叶 ;
宋旭波 ;
王元刚 ;
冯志红 ;
徐森锋 ;
马春雷 .
中国专利 :CN108376735A ,2018-08-07
[2]
一种电桥式GaN压力传感器制备方法及器件 [P]. 
谭鑫 ;
吕元杰 ;
周幸叶 ;
宋旭波 ;
王元刚 ;
冯志红 ;
邹学锋 ;
马春雷 .
中国专利 :CN108389959A ,2018-08-10
[3]
一种绝压压力传感器 [P]. 
赵忱 .
中国专利 :CN205580628U ,2016-09-14
[4]
一种TO绝压压力传感器 [P]. 
廉五州 ;
李绍恒 ;
赵忱 ;
郝程程 ;
田佳鑫 ;
田春阳 ;
薛棚 .
中国专利 :CN207050892U ,2018-02-27
[5]
压力传感器及压力传感器的制作方法 [P]. 
朱恩成 ;
陈磊 ;
张强 ;
王栋杰 ;
胡洪 .
中国专利 :CN115655534A ,2023-01-31
[6]
压力传感器及压力传感器的制作方法 [P]. 
朱恩成 ;
陈磊 ;
张强 ;
王栋杰 ;
胡洪 .
中国专利 :CN115655534B ,2025-02-25
[7]
GaN压力传感器件及其制作方法 [P]. 
陈一峰 ;
陈汝钦 .
中国专利 :CN105352636A ,2016-02-24
[8]
压力传感器及其制作方法 [P]. 
陈帅 ;
倪文海 ;
徐文华 .
中国专利 :CN106384749A ,2017-02-08
[9]
压力传感器及制作方法 [P]. 
王小平 ;
曹万 ;
李凡亮 ;
杨军 ;
吴登峰 ;
吴林 .
中国专利 :CN119334524A ,2025-01-21
[10]
压力传感器及制作方法 [P]. 
王小平 ;
曹万 ;
李凡亮 ;
杨军 ;
吴登峰 ;
吴林 .
中国专利 :CN119334524B ,2025-11-18
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