一种硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921137829.0

申请日：

2019-07-18

公开(公告)号：

CN210497454U

公开(公告)日：

2020-05-12

发明(设计)人：

葛正浩魏林林白鹏虞

申请人：

申请人地址：

710021 陕西省西安市未央区大学园

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B310 B08B308

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

王艾华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20190718 授权公告日:20200512 终止日期:20210718
2020-05-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片表面污染清洗装置 [P].

郑松 ;

余江湖 ;

刘君 .

中国专利 :CN223405526U ,2025-10-03

[2]

一种硅片清洗装置 [P].

靳立辉 ;

高翔 ;

王毅 ;

杜晨朋 ;

王德智 ;

张嘉航 .

中国专利 :CN223475783U ,2025-10-28

[3]

一种硅片超声波清洗装置 [P].

吕明 ;

郭城 ;

李充 ;

王永超 .

中国专利 :CN216323811U ,2022-04-19

[4]

一种硅片的清洗装置 [P].

曾磊 ;

张玉玉 ;

张乃文 .

中国专利 :CN209829704U ,2019-12-24

[5]

一种硅片水平清洗装置 [P].

郭江涛 ;

赵可武 ;

邓浩 ;

李定武 .

中国专利 :CN107755311B ,2018-03-06

[6]

硅片清洗装置 [P].

李兆颖 ;

周来平 ;

孟洁 .

中国专利 :CN217544554U ,2022-10-04

[7]

一种石英晶片清洗装置及清洗方法 [P].

葛正浩 ;

魏林林 ;

白鹏虞 .

中国专利 :CN110238122B ,2024-11-29

[8]

一种石英晶片清洗装置及清洗方法 [P].

葛正浩 ;

魏林林 ;

白鹏虞 .

中国专利 :CN110238122A ,2019-09-17

[9]

硅片清洗架 [P].

王会敏 ;

张浩强 ;

李立伟 ;

张稳 .

中国专利 :CN207250475U ,2018-04-17

[10]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18

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