热处理方法以及热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010945865.0

申请日：

2016-08-26

公开(公告)号：

CN112053944A

公开(公告)日：

2020-12-08

发明(设计)人：

青山敬幸河原崎光古川雅志布施和彦谷村英昭加藤慎一

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

H01L21265 H01L21285 H01L2167 H01L21687

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

向勇;宋晓宝

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/268 申请日:20160826
2020-12-08	公开	公开

共 50 条

[1]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 ;

加藤慎一 .

中国专利 :CN106486351B ,2017-03-08

[2]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN112053944B ,2024-12-20

[3]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN106486397A ,2017-03-08

[4]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

日本专利 :CN112652559B ,2025-04-15

[5]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN112652559A ,2021-04-13

[6]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[7]

热处理方法以及热处理装置 [P].

布施和彦 .

中国专利 :CN106158605A ,2016-11-23

[8]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 .

中国专利 :CN106469649B ,2017-03-01

[9]

热处理装置以及热处理方法 [P].

谷村英昭 ;

松尾郁 ;

布施和彦 ;

加藤慎一 .

中国专利 :CN106340474A ,2017-01-18

[10]

热处理方法及热处理装置 [P].

繁桝翔伍 ;

加藤慎一 .

日本专利 :CN113574635B ,2025-01-14

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