一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统

被引:0
申请号
CN202210353014.6
申请日
2022-04-01
公开(公告)号
CN115143740A
公开(公告)日
2022-10-04
发明(设计)人
黄小华 陈龙 聂林涛 李鹏岗
申请人
申请人地址
727031 陕西省铜川市新区新材料产业园区纬九路小微企业园7号楼
IPC主分类号
F26B906
IPC分类号
F26B504 F26B2114 F26B2306 F26B2500 F26B2518
代理机构
代理人
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
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[3]
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